影像测量仪包括：光学系统、机械系统、电子系统、计算机图像技术。是集成高新技术于一体的高科技测量仪器，常用于：配件、五金、PCB板、模具、螺丝、金属、橡胶、弹簧、电子、塑料等领域。由于影像测量仪结构复杂，包含科学多，在日常使用过程中，经常会出现包总故障。
1、光学系统，投影成像故障。影像有黑斑、成像模糊、成像有暗区等，需要对测量仪物镜、投影屏、工作台玻璃、聚光镜、反光镜等进行清洗保养。调节灯泡灯丝或者更换,如果是电压过低，应该加装电源稳压器。
2、机械系统，升降传动故障。常见的问题有上下运动有异响，有时无法上升或者是下降，在传动改变运行时空隙较大等。
3、机械系统，工作台故障。常见故障有磨擦传动时不顺、光杆空转、工作台运动有响声、光杆传动有弹跳、工作台运动有卡滞现象等。解决故障时，要要找出故障原因，再对症下药。可调整弹簧的螺丝松紧、更换轴承、更换光杆、新上油、加润滑油、调节或更换光杆支架等方式来解决。
4、精度故障。包括X.Y.Z轴精度不准、两坐标测量精度差、角度示值误差大、不同平面测量误差大等。应对此类故障，要注意校正和调整。 如果想让影像测量仪少发生故障，就要注重平时对仪器进行保养。仪器存放环境相当重要，应放在清洁干燥、适当恒温的房间里，避免光学零件表面发霉、金属零件生锈、尘埃杂物剥落等。光学件表面要保持清洁，不可以用手触摸，要经常进行清洁。
5、投影屏故障。旋转有声响时，可清理端面上的杂质（如锈渍），换新定位轴承等。旋转时磨擦力大，可松开锁紧螺丝，或换磨擦转。旋转不均匀时，可换新度盘座、磨擦轮、磨擦轮轴等。投影屏旋转不计数时，可扭紧角度磨擦机械，焊接好信号线，接好接插等。
6、影像成像故障。显示黑屏时可查看电源线是否接好，电源电压等，插紧显示器信号线，如有零件损坏则需要更换显示器或者十字线产生器。当物镜变倍时十字线与描准点偏移大时，重调锁镜筒的螺丝钉，或者换镜筒。当出现被测工作的某一边有暗影时，可调节摄像机或者玻璃四个角上的螺丝，摆正工件。
7、电气故障。常见故障有灯泡不亮、轴流风机不转动、易烧灯泡、易烧保险丝、变压器过热，损坏等。
8、电子故障。如电箱按键失灵，可系统总清、换新面膜；如轴不计数，可换滑座或OP板或整个尺、重新接一下信号线、换主机板等。如数码管缺笔划，则需更换或维修。